エピタキシャル炉温度測定用熱電対
エピタキシャル炉などの高温かつ還元雰囲気中の炉内温度分布測定には、通常石英を保護管とした熱電対が広く使われています。
この場合、石英に破損が生じると熱電対及び絶縁管等による炉内汚染の問題が発生します。 この問題を回避するため、従来より金属保護管を特殊加工した熱電対もありますが、高価で規格外の卑金属熱電対を使用するため、コスト、精度に問題が残っていました。
そこで弊社は、従来考えられなかったモリブデン保護管に貴金属熱電対を一重管構造で収納する製法を独自の技術で可能にしました。
エピタキシャル炉温度測定用熱電対について
・特長
・仕様
シース熱電対
熱電対の種類 ：TYPE R熱電対（素線径φ0.2mm）
シース外径 ：φ1.0mm
シース材質 ：Pt90%－Rh10%
誤差 ：0～600℃：±1.5℃、 600℃以上：測定温度の±0.25%
測温接点位置 ：御指定
保護管
材質 ：モリブデン（純度99.99%）
外径 ：最小φ5mm(シース熱電対3本収納）
長さ ：御指定(但し、外径φ5mmでMAX.1000mm）
・センサ概要図
